半導體無塵車間凈化裝修工程
來源：www.onre.cn 作者：空氣好凈化
發(fā)布時間:2021-06-25 10:49:04點擊:次
一、項目概況
項目名稱：半導體凈化車間裝修工程
項目規(guī)模：8000㎡
潔 凈 度：百級、千級、萬級、十萬級
項目地址：安徽合肥
二、設計及施工內容
項目涉及設計施工范圍有彩鋼板隔斷裝修工程、凈化通風風調系統(tǒng)工程、車間排風系統(tǒng)工程、配電系統(tǒng)工程、工藝管道工程、給排水工程
三、設計規(guī)范及依據(jù)
業(yè)主提供的圖紙和技術文件及現(xiàn)楊勘察資料
《潔凈廠房設計規(guī)范》
《電子工業(yè)沽凈廠房設計規(guī)范》
《沽凈廠房施工與驗收規(guī)范》
《金屬面巖棉、礦渣巖棉夾芯板》
《建筑設計防火規(guī)范》
《潔凈廠房建筑構造》
四、潔凈室系統(tǒng)技術參數(shù)
1、壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa；
2、平均風速：0.3－0.5m/s（百級）；
3、噪聲≤65dB（A）；
4、新風補充量是總送風量的10％－30％；
5、照度300LX；
6、溫度：20-26 度（車間），溫度：12-23度（測試）
7、濕度：50-70%RH（車間），濕度40-85%RH（測試）
8、潔凈度等級：百級－30萬級用于測試區(qū)域，千級－30萬級用于生產(chǎn)制造區(qū)域
9、ESD也是半導體制造環(huán)境控制的重要內容，靜電釋放可能對產(chǎn)品和生產(chǎn)設備造成損害，還可能引起硅片表面塵粒吸附，影響產(chǎn)品的良率。
五、半導體凈化車間設計及注意事項
1、半導體凈化無塵車間內部要確保塵埃粒子只出不進，因此潔凈車間室內要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風機將經(jīng)凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車間。
2、為保持恒溫與恒濕，空調設備須搭配前述之鼓風加壓系統(tǒng)使用。鼓風機加壓多久，空調就得開多久。
3、所有經(jīng)凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，凈化無塵車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀，使塵埃、細菌等在無塵凈化車間內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。
4、半導體無塵車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結構施工以及上述的重點難點外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統(tǒng)及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)（含特種氣體供應等）及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學品供應系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風和排氣系統(tǒng)及其處理設備的安裝、消防安全報警系統(tǒng)及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設備及其配管配線的安裝等。