馬鞍山萬級芯片生產潔凈車間凈化工程
來源：www.onre.cn 作者：空氣好凈化
發布時間:2025-09-23 09:09:03點擊:次
本萬級芯片生產潔凈車間是芯片制造的核心配套空間，總建筑面積適配規模化生產需求，空間布局按芯片工藝流程科學劃分，涵蓋預處理區、光刻輔助區、檢測過渡區等功能分區，各區域通過密封式通道連接，可滿足芯片從基材準備到半成品暫存的多環節生產需求，同時預留靈活改造空間，能適配不同型號芯片的生產調整。?
車間潔凈度嚴格遵循萬級標準（ISO8級），每立方米空氣中≥0.5μm的微粒數不超過352000個，通過初、中、高效三級空氣過濾系統實現空氣循環凈化，配合地面環氧樹脂無縫涂層、墻面不銹鋼潔凈板及圓弧角設計，減少灰塵積聚與死角。車間內溫濕度精準控制在23±2℃、45±5%RH，壓力梯度維持正壓狀態，有效阻隔外部污染物侵入，為芯片生產提供穩定、潔凈的環境，保障芯片良率與性能。
