宣城3200平晶圓制造生產車間凈化工程方案分享
來源：www.onre.cn 作者：空氣好凈化
發布時間:2025-07-14 16:01:30點擊:次
本晶圓車間采用賽博科技未來風設計，以鈦金銀（設備）、啞光黑（結構框架）和霓虹藍（智能交互界面）構成核心視覺體系，強化高科技產業屬性。
地面為導靜電高架地板系統，確保微振動控制與管線隱蔽；墻面采用航空級鋁復合板，陽極氧化處理防靜電；頂面集成ULPA超高效過濾模塊，配合負壓梯度控制氣流。
功能布局嚴格遵循半導體Fab標準：黃光區采用波長過濾玻璃，晶圓傳送由AMR機器人完成，中控臺配備AR監測屏。創新性融入數字孿生投影墻和動態壓差顯示系統，在滿足ISO14644-1Class100標準的同時，構建具有科幻美學的尖端芯片制造環境。
