池州百級(jí)半導(dǎo)體無塵車間裝修方案分享
來源：www.onre.cn 作者：空氣好凈化
發(fā)布時(shí)間:2025-06-17 11:40:15點(diǎn)擊:次
本百級(jí)車間采用"超凈工業(yè)未來主義"風(fēng)格，符合ISO14644-1Class3標(biāo)準(zhǔn)（≥0.1μm顆粒≤1,000/m³）。設(shè)計(jì)核心突破：
三維污染控制：天花板ULPA過濾（99.9995%@0.12μm）+墻面納米涂層+地板層級(jí)增壓（0.06"WG梯度）
工藝驅(qū)動(dòng)布局：光刻區(qū)（溫度±0.1℃）、蝕刻區(qū)（濕度40±1%RH）、晶圓庫（氧含量＜0.1ppm）獨(dú)立微環(huán)境
人機(jī)協(xié)同創(chuàng)新：磁懸浮潔凈服系統(tǒng)消除人體發(fā)塵，AR眼鏡顯示實(shí)時(shí)粒子分布熱力圖
視覺語言上，深空灰設(shè)備基色搭配紫色工藝氣體管路，紅色應(yīng)急系統(tǒng)形成強(qiáng)烈功能警示。通過隱藏式LED燈帶（1,000lux無影照明）與全金屬啞光材質(zhì)，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)生產(chǎn)與賽博美學(xué)的統(tǒng)一。
