池州半導體生產潔凈車間凈化裝修效果分享
來源：www.onre.cn 作者：空氣好凈化
發布時間:2025-07-09 08:56:17點擊:次
本車間以"未來科技"為設計導向，嚴格遵循ISO14644-1Class5標準，打造高精度半導體制造環境。空間采用淺灰金屬壁板與深灰防靜電格柵地板的冷色調組合，營造極具科技感的工業美學。
核心設計亮點：
圍護系統：淺灰陽極氧化鋁金屬壁板，表面經納米涂層處理，反射率精準控制在40%-50%，避免光干擾；
地面系統：深灰鋁合金防靜電格柵地板，開放率≥60%，電阻值10^4~10^6Ω，下方設置2米深架空層，集成管線與FFU回風系統；
空氣凈化：天花滿布FFU+ULPA超高效過濾器，換氣次數≥60次/h，維持0.45m/s垂直層流；
微環境控制：核心光刻區溫控精度±0.1℃，振動控制在VC-D級標準；
智能交互：AR虛擬巡檢系統與墻裝透明OLED數據看板，實時顯示18項工藝參數。
通過模塊化金屬結構與智能化環境監控的完美融合，為半導體制造提供超越摩爾定律要求的尖端生產環境。
